主权项 |
一种静压气体轴承,其特征在于包含:合成树脂制之轴承体,其包含形成于一面上之圆环状凹部、连接于该圆环状凹部之外周壁面且相对于该外周壁面而直径扩大之环状肩部面、于另一面上开口之环状凹槽、及一端朝环状凹槽开口且另一端于圆环状凹部之环状底面上开口之作为自成节流之复数个空气吹出孔;环状密封构件,其接触并安装于环状肩部面上;及轴承基体,其于与轴承体之一面对向之一面上,包含一端于与该轴承体之一面对向之一面上开口,而另一端于外周面上开口之供气通道;且轴承体使圆环状凹部之开口部连通于轴承基体之供气通道,且经由复数个紧固构件紧固固定于该轴承基体上,而与轴承基体一体化;环状凹槽系具有至少0.3mm之宽度与至少0.01mm之深度;空气吹出孔系于其一端至少具有30μm之直径,并于圆环状凹部与环状凹槽之间形成自成节流。
|