| 主权项 |
一种氩气之纯化方法，其系纯化至少含有氧、氢、一氧化碳、烃、油分及氮作为杂质者，且使上述氩气中之烃之一部分与油分吸附于活性碳上，其次，判定上述氩气中之氧量是否超过与上述氩气中之全部氢、一氧化碳及烃反应所必需之设定量，于上述氩气中之氧量为上述设定量以下之情形时，以超过上述设定量之方式添加氧，继而，藉由使用触媒使上述氩气中之一氧化碳、氢及烃与氧进行反应而于残留有氧之状态下生成二氧化碳与水，其次，以上述氩气中之一氧化碳量超过与全部该残留之氧反应所必需之设定量之方式添加一氧化碳，继而，藉由使用钌触媒、钯触媒或该等之混合触媒使上述氩气中之氧与一氧化碳进行反应而于残留有一氧化碳之状态下生成二氧化碳，然后，藉由变压式吸附法而使上述氩气中之至少一氧化碳、二氧化碳、水及氮吸附于吸附剂上。 |
