| 发明名称 |
双（二烷基醯胺基）镁化合物及利用该镁化合物之含镁薄膜之制造方法 |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
TWI504605 |
申请公布日期 |
2015.10.21 |
| 申请号 |
TW100128015 |
申请日期 |
2011.08.05 |
| 申请人 |
宇部兴产股份有限公司 |
发明人 |
藤村整;金户宏树 |
| 分类号 |
C07F3/02;C23C16/30 |
主分类号 |
C07F3/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
周良谋 新竹市东大路1段118号10楼;周良吉 新竹市东大路1段118号10楼 |
| 主权项 |
一种双(二烷基醯胺基)镁化合物，其系以通式(1)表示
式中，R1表示第三丁基，R2表示甲基或乙基。 |
| 地址 |
日本 |
