具有多个探头单元的阵列检测装置

摘要

本发明提供一种具有多个探头单元的阵列检测装置，其中在阵列检测装置中安装有多个探头单元，从而一个探头单元检测特定的玻璃模型，另一个探头单元交换探针卡用来对具有不同图案线宽的另一个LCD玻璃进行检测，以便能够减少由于交换探针卡而产生的装置的空置时间。

主权项

一种阵列检测装置，其具有多个探头单元，包括：基板，具有检测区域以及位于该检测区域相对两侧的空置区域，在该检测区域的中央部分对平板显示器玻璃进行检测；平台，该平台安装在基板的检测区域中，并且特定的玻璃定位于其上；至少两个探头单元，其上安装有多个探针卡，用于当与电路图进行电接触时，检测形成在玻璃上的电路图的特性，并且所述探头单元安装在基板上；第一线性电动机，用于向前和向后驱动所述平台；第二线性电动机，用于向左和向右驱动多个探头单元，其特征在于，在所述基板的每个空置区域，安装有交换工具，用于有选择地夹住与特定玻璃模型相对应的探针卡组，其中夹住探针卡组的多层搁板设置在交换工具中，并且将搁板设置为沿着滑轨向前和向后移动，以及通过柱塞的驱动而向上和向下移动。