倾角传感器敏感头结构、制作工艺及其信号处理电路

摘要

本发明公开了一种倾角传感器敏感头结构、制作工艺及其信号处理电路，该倾角传感器敏感头结构包括：铍铜振动元件，设置于上述敏感头结构的中间层，包括：铍青铜外框，铍青铜弹性梁，铍青铜质量块，其中，上述铍青铜质量块通过上述铍青铜弹性梁与上述铍青铜外框相连接；敷铜有机板，分别设置于上述振动元件的上层和下层，其中，上层有机板的下表面与上述铍青铜质量块相对的位置以及下层有机板的上表面与上述铍青铜质量块相对的位置，均敷有铜层，且上述上层有机板和上述下层有机板分别与上述铍青铜质量块之间留有间隙。根据本发明提供的倾角传感器敏感头结构，稳定性好，体积小巧，并可以用于自动控制系统，并且差动电容可以消除干扰，并受温度影响不大，灵敏度高，结构制作工艺简单。

主权项

一种倾角传感器敏感头结构，其特征在于，包括：铍铜振动元件，设置于所述敏感头结构的中间层，包括：铍青铜外框，铍青铜弹性梁，铍青铜质量块，其中，所述铍青铜质量块通过所述铍青铜弹性梁与所述铍青铜外框相连接；敷铜有机板，分别设置于所述铍铜振动元件的上层和下层，其中，上层有机板的下表面与所述铍青铜质量块相对的位置以及下层有机板的上表面与所述铍青铜质量块相对的位置，均敷有铜层，且所述上层有机板和所述下层有机板分别与所述铍青铜质量块之间留有间隙。