发明名称 |
大口径高真空油扩散泵 |
摘要 |
本发明公开了一种扩散泵,特别是涉及一种大口径高真空油扩散泵,它适合应用于真空炉、真空镀膜机。大口径高真空油扩散泵,它包括泵体、设置在泵体内的泵芯组件,其中加热器设置在泵体底部、泵体的排气口内设有挡油装置,泵体采用了凸腔结构,泵芯组件垂直安装在泵体内中心油槽内,泵芯组件结构是由内至外依次设置一级导流管、二级导流管和三级导流管构成整体结构,各级导流管上部均设有伞帽形扩散喷嘴,喷射喷嘴垂直焊接在三级导流管的底部,一级导流管的高度比二级导流管高,二级导流管的高度比三级导流管高。本发明具有大口径、极限真空度高、抽气速率高、返油率低、耗电量低的特点。 |
申请公布号 |
CN104989679A |
申请公布日期 |
2015.10.21 |
申请号 |
CN201510409541.4 |
申请日期 |
2015.07.14 |
申请人 |
辽宁真龙真空设备制造有限公司 |
发明人 |
林森;林峰;周丹 |
分类号 |
F04F9/00(2006.01)I;F04F9/02(2006.01)I |
主分类号 |
F04F9/00(2006.01)I |
代理机构 |
沈阳圣群专利事务所(普通合伙) 21221 |
代理人 |
张立新 |
主权项 |
大口径高真空油扩散泵,它包括泵体、设置在泵体内的泵芯组件,其特征在于加热器设置在泵体底部、泵体的排气口内设有挡油装置,泵体采用了凸腔结构,泵芯组件垂直安装在泵体内的中心油槽内,泵芯组件结构是由内至外依次设置一级导流管、二级导流管和三级导流管构成整体结构,各级导流管上部均设有伞帽形扩散喷嘴,喷射喷嘴垂直焊接在三级导流管的底部,一级导流管的高度比二级导流管高,二级导流管的高度比三级导流管高。 |
地址 |
110014 辽宁省沈阳市沈河区六纬路17号 |