发明名称 修正双波段测温误差的温度测量方法及系统
摘要
申请公布号 TWI504868 申请公布日期 2015.10.21
申请号 TW103123868 申请日期 2014.07.10
申请人 中微半导体设备(上海)有限公司 发明人 泷口治久
分类号 G01J5/00;G01K15/00 主分类号 G01J5/00
代理机构 代理人 林志青 台北市信义区松隆路102号18楼之1
主权项 一种修正双波段测温误差的温度测量方法,其特征在于,包含:在校正阶段,A1、通过双波段测温的测温仪Hs,来测算一个基准物体在两个不同波长λ1、λ2下对应的辐射能量P1s、P2s及比值P1s/P2s;A2、利用发射率检测装置检测获得所述基准物体表面在波长λ1、λ2下对应的发射率数值ε1s、ε2s,并计算获得ln(ε1s/ε2s);或者,利用基准测温仪Ws获得所述基准物体的实际温度TWs计算获得ln(ε1s/ε2s);A3、根据所述比值P1s/P2s计算获得所述基准物体的双波长温度测量值Tdual-s:A4、对所述基准物体进行多次A1-A3步骤的测量,并获得多个包括Tdual-s与相应温度下的ln(ε1s/ε2s)数值的资料组,得到表示ln(ε1s/ε2s)与1/Tdual-s之间关系的方程式f(Tdual-s);在测量阶段,B1、通过双波段测温的测温仪Hs,来测算一个被测物体在两个波长λ1、λ2下对应的辐射能量P1、P2及比值P1/P2;B2、根据所述比值P1s/P2s计算获得所述被测物体的双波长温度测量值Tdual:B3、根据校正阶段求得的方程式f(Tdual)计算获得双波长温度修正值,根据所述双波长温度测量值Tdual和所述双波长温度修正值计算所述被测物体的实际温度T。
地址 中国