EVAPORATION SOURCE FOR TRANSPORTING CHEMICAL PRECURSORS, AND EVAPORATION METHOD FOR TRANSPORTING CHEMICAL PRECURSORS USING SAID SOURCE

摘要

본 발명은 화학 전구체를 기판에 운반하기 위한 증발원에 관한 것으로, 그 기판 위에 화학 전구체가 응축에 의해 증착되며, 상기 증발원은 상기 전구체를 수용하는 주된 중공관(1), 및 가열 수단(8)에 의해 형성된다. 주된 중공관(1)의 상부에는 주된 중공관(1)의 측면(7)에 서로 대향하여, 주된 중공관(1)의 측면(7)을 가로질러 연장되는 공통 선을 따라 정렬된 캐리어 가스용 도입부(5) 및 배기부(6)가 설치된다. 본 발명은 또한 화학 전구체를 운반하기 위한 증발 방법에 관한 것으로, 캐리어 가스를 주된 중공관(1)의 측면(7)에 대해 횡축으로, 또한 정렬된 방식으로 주된 중공관(1)에 도입하고, 주된 중공관(1)으로부터 추출한다.