空白罩幕和使用所述空白罩幕来制造光罩的方法,申请号TW102123098-传众专利搜索

发明名称	空白罩幕和使用所述空白罩幕来制造光罩的方法
摘要
申请公布号	TWI505018	申请公布日期	2015.10.21
申请号	TW102123098	申请日期	2013.06.28
申请人	Ｓ＆Ｓ技术股份有限公司	发明人	南基守;姜亘远;梁澈圭;李钟华;张圭珍
分类号	G03F1/22	主分类号	G03F1/22
代理机构		代理人	詹铭文台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项	一种空白罩幕，在透明基底上包含光遮罩层以及硬罩幕膜，其中所述硬罩幕膜具有以下组成：Cr的含量为30原子%到99原子%，Sn的含量为1原子%到30原子%，氧的含量为0原子%到50原子%，氮的含量为0原子%到50原子%，且碳的含量为0原子%到20原子%。
地址	南韩