主权项 |
一种有机电致发光元件之制造方法,该有机电致发光元件系具有第1有机层及第2有机层之至少2有机层,及在前述第1有机层与第2有机层之间两层之形成材料混合存在之混合层者,该制造方法系:使用蒸镀装置,该蒸镀装置具备含有前述第1有机层之形成材料之第1蒸镀源,及含有前述第2有机层之形成材料之第2蒸镀源,使已气化之第1有机层之形成材料自前述第1蒸镀源撞击基板之被处理面,并在前述基板之被处理面形成第1有机层后,在前述第1有机层之形成材料迁移之状态中,使已气化之第2有机层之形成材料自前述第2蒸镀源朝前述第1有机层撞击而形成混合层。 |