提高MOCVD外延片波长均匀性的一种石墨盘组件

摘要

提高MOCVD外延片波长均匀性的一种石墨盘组件，涉及GaN基LED外延生产领域，特别是提高MOCVD外延片波长均匀性的石墨盘组件的结构技术。本实用新型包括石墨盘、卫星盘和固定栓，所述固定栓为柱形石墨件，在柱形石墨件表面设置碳化硅涂层。本实用新型消除了现有固定栓与石墨之间热导率的差异，使得中心片温度与边缘片温度一致，从而提高LED波长均匀性。该方法结构简单，实用性强。

主权项

提高MOCVD外延片波长均匀性的一种石墨盘组件，包括石墨盘、卫星盘和固定栓，石墨盘上具有与卫星盘配合的大圆柱形凹槽，凹槽底部具有能够使卫星盘旋转的环形线槽，在大圆柱形凹槽的底部中心位置有一个圆柱形上凹槽，在卫星盘的背面中心开设支撑凹槽，在所述上凹槽和支撑凹槽之间设置固定栓，在卫星盘的正面中心设置一个中心片槽，以所述中心片槽为对称中心，在卫星盘的正面布置若干边缘片槽，其特征在于：所述固定栓为柱形石墨件，在柱形石墨件表面设置碳化硅涂层。