极低温环境大口径反射式望远镜防霜膜系及其制备方法

摘要

用于极低温的大口径反射光学望远镜防霜膜系及其制备方法，防霜膜系的结构如下，自主镜表面开始依次为：透明导电膜层、中间绝缘层、反射膜层及最外介质保护层；在所述透明导电膜层的两边，设有导电电极。步骤如下：⑴准备工作；⑵.导电膜镀制步骤；⑶.中间绝缘层镀制步骤；⑷.反射膜镀制步骤；⑸.最外介质保护层的镀制步骤；⑹.导电电极镀制步骤。本发明可用于极端低温环境下，结合镜面温升控制避免镜面结霜。本发明对防霜反射膜系的结构进行了合理设计，在具有防霜功能的同时保证了膜系的光谱反射性能。在膜层反射材料同样使用铝时，在400nm-2000nm波段范围，本防霜反射膜系光谱反射率平均值优于89%。

主权项

一种用于极低温环境下的大口径反射式光学红外望远镜防霜膜系，在反射式光学望远镜的主镜表面集成有透明导电膜，其特征在于，所述透明导电膜的结构如下，自主镜表面开始，依次为：透明导电膜层、中间绝缘层、反射膜层及最外介质保护层；在所述透明导电膜层的两边，设有导电电极。