一种制备铜铟碲薄膜的方法

摘要

一种制备铜铟碲薄膜材料的制备方法，属于光电薄膜制备技术领域，本发明通过如下步骤得到，首先清洗玻璃基片，然后将CuCl₂·2H₂O、InCl₃·4H₂O、TeO₂放入溶剂中，并调整pH值，用旋涂法在玻璃片上得到前驱体薄膜，烘干，放入有水合联氨的可密闭容器，使前驱体薄膜样品不与联氨接触，将装有前驱体薄膜样品的密闭容器进行加热后取出样品进行干燥，得到铜铟碲光电薄膜。本发明不需要高温高真空条件，对仪器设备要求低，生产成本低，生产效率高，易于操作。所得铜铟碲光电薄膜有较好的连续性和均匀性，这种新工艺为制备高性能的铜铟碲光电薄膜提供了一种成本低、可实现工业化的生产方法。

主权项

一种制备铜铟碲薄膜的方法，包括如下顺序的步骤：a.玻璃基片的清洗：将大小为2mm×2mm玻璃片放入三氯甲烷∶乙醇体积比＝5∶1的溶液中，超声波清洗30min；再将玻璃片放入体积比丙酮∶蒸馏水＝5∶1的溶液中，超声波清洗30min；再在蒸馏水中将玻璃基片用超声振荡30min；将上述得到的玻璃基片排放在玻璃皿中送入烘箱中，在100℃下烘干，供制膜用；b.将1.0份CuCl₂·2H₂O、1.72份InCl₃·4H₂O和1.87份TeO₂放入39.789份乙二醇中均匀混合，加盐酸至pH为2.5，利用超声波振动30min以上，使溶液中的物质均匀混合；c.将上述溶液滴到放置在匀胶机上的玻璃基片上，再启动匀胶机，匀胶机以200转/分转动5秒，以3000转/分旋转15秒，使滴上的溶液涂均匀后，在100℃下对基片进行烘干，再次重复10次上述步骤，于是在玻璃基片上得到了一定厚度的前驱体薄膜样品；d.将上述工艺所得的前驱体薄膜样品放入可密闭的容器，并放入1.791份水合联氨，前驱体薄膜样品置于支架上使其不与联氨接触；e.将上述装有前驱体薄膜样品的密闭容器放入烘箱中，加热至200℃，保温时间18小时，然后冷却到室温取出，使其自然干燥后，即得到铜铟碲薄膜。