低温多晶硅薄膜的制备方法、薄膜晶体管和显示装置

摘要

本发明实施例公开了一种低温多晶硅薄膜的制备方法、薄膜晶体管和显示装置，涉及显示器领域，可以提高低温多晶硅薄膜的晶粒尺寸及均匀性，并能充分利用入射激光的能量，有利于降低低温多晶硅薄膜的生产成本，提高了低温多晶硅薄膜晶体管的性能。低温多晶硅薄膜的制备方法包括：在基板上沉积非晶硅薄膜；在非晶硅薄膜上覆盖光学增透薄膜；对光学增透薄膜进行光刻，使光学增透薄膜表面具有阵列排布的聚光结构；对覆盖有光学增透薄膜的非晶硅薄膜进行激光照射，使所述非晶硅薄膜转化为低温多晶硅薄膜；用低温多晶硅薄膜构建薄膜晶体管，并将其用于显示装置。

主权项

一种低温多晶硅薄膜的制备方法，其特征在于，包括：在基板上沉积非晶硅薄膜；在所述非晶硅薄膜上覆盖光学增透薄膜；对所述光学增透薄膜进行光刻，使得所述光学增透薄膜表面具有阵列排布的聚光结构；对覆盖有所述光学增透薄膜的非晶硅薄膜进行激光照射，使得所述非晶硅薄膜转化为所述低温多晶硅薄膜。