| 摘要 |
압전형 마이크로 스피커 및 그 제조 방법이 개시된다. 개시된 압전형 마이크로 스피커는, 캐비티를 가진 기판과, 캐비티를 덮도록 기판 상에 형성된 다이어프램을 포함한다. 캐비티의 중심부에 위치하는 다이어프램의 제1영역에는 동심으로 배치된 다수의 환형 고리 형상의 제1진동막이 형성된다. 캐비티의 가장자리부에 위치하는 다이어프램의 제2영역에는 제1진동막과는 다른 물질로 이루어진 제2진동막이 형성될 수 있다. 다수의 제1진동막 상면과 사이에는 다수의 제1진동막을 진동시키는 압전 구동부가 형성된다. |
