检测透明板体内部瑕疵点的装置与方法与其装置的使用

主权项

一种检测透明板体内部瑕疵的装置，该透明板较佳为玻璃板，其包含：一照光装置，用于将入射光引导至该板之表面之至少一部分上以供光照该板，以及一影像侦测装置，由该板反散射的光被引导至其上来使该板显像，其中该装置系适于藉由叠合由该板反散射的光之分量来产生干涉图形，并且基于该等干涉图形，在不同撷取条件下产生至少两个干涉影像，俾以藉由评估该至少两个干涉影像而得以或实施瑕疵的检测。