| 摘要 |
<p>본 발명은 서로 다른 유형의 박막 트랜지스터들이 동일 기판 위에 배치된 박막 트랜지스터 기판 및 이를 이용한 표시장치에 관한 것이다. 본 발명에 의한 표시장치는, 제1 박막 트랜지스터, 제2 박막 트랜지스터, 중간 절연막 및 에치-스토퍼 층을 포함한다. 제1 박막 트랜지스터는, 다결정 반도체 층, 다결정 반도체 층 위에 배치된 제1 게이트 전극, 제1 소스 전극 및 제1 드레인 전극을 포함한다. 제2 박막 트랜지스터는, 제2 게이트 전극, 제2 게이트 전극 위에 배치된 산화물 반도체 층, 제2 소스 전극 및 제2 드레인 전극을 포함한다. 중간 절연막은, 제1 게이트 전극과 제2 게이트 전극 위 그리고 산화물 반도체 층 아래에 배치되며, 질화막과 질화막 위의 산화막을 포함한다. 에치-스토퍼 층은, 산화물 반도체 층 위에 배치된다.</p> |
