| 摘要 |
<p>본 발명의 중합체의 제조 방법은 용매 중에서 단량체를 반응시켜 얻어지는 중합체 용액을 빈용매에 접촉시켜 중합체를 석출시킴으로써 불순물을 제거하는 중합체의 제조에 있어서, 얻어지는 중합체 용액에 용매를 첨가하여 희석한 후에 빈용매와 접촉시켜 침전시키는 것을 특징으로 한다. 중합에 이용하는 용매의 20℃에서의 점성률은 1 mPa·s 이상인 것이 바람직하다. 또한, 희석에 이용하는 용매의 20℃에서의 점성률은 1 mPa·s 미만인 것이 바람직하다. 본 발명에 따르면, 레지스트 중합체, 다층 레지스트의 하층막 중합체 및 반사 방지막 중합체, 액침 탑코팅용 중합체 등으로 유용한 잔류 단량체가 적은 중합체를 효율적으로, 품질의 재현성 좋게 제조할 수 있다.</p> |
