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<p>물체 표면을 검사하기 위한 시스템 및 방법을 개시한다. 실시예에서, 물체 표면 검사 시스템은, 물체의 표면을 조사(illumination)하기 위한 조명 소스와, 조사된 물체 표면으로부터 산란 광을 인터셉트하고, 물체 표면의 원하는 영역의 실제 이미지를 투영하는 광학 장치와, 투영된 실제 이미지를 수신하는 센서를 포함한다. 실제 이미지를 저장 및 분석하기 위해 센서에 컴퓨터 시스템이 연결될 수 있다. 실시예에서, 물체 표면 검사 방법은, 물체 표면을 조명 빔으로 조사하는 단계와, 조사된 물체 표면으로부터 산란 광을 인터셉트하는 단계와, 물체 표면의 원하는 영역의 실제 이미지를 센서에 투영하는 단계를 포함한다. 실제 이미지는 물체 표면 상에 위치된 입자를 검출하도록 처리될 수 있다. 이로써, 레티클 상의 오염물 또는 결함을 인시추(in-situ)로 검출하기 위한 시스템 및 방법이 제공된다.</p> |
