| 发明名称 |
SHORT PULSE FIBER LASER FOR LTPS CRYSTALLIZATION |
| 摘要 |
<p>펄스된 섬유 레이저(pulsed fiber lasers)로부터 레이저 펄스는 녹기 및 재크리스탈화를 반복하여 크리스탈(crystalline) 부위의 무질서한 배열을 포함하는 폴리실리콘 층을 생성하기 위하여 무정형(amorphous) 실리콘 층에 지정된다. 10 kHz 내지 10 MHz의 반복 비율에서, 약 500 nm와 1000 nm 사이의 파장 범위에서 약 0.5 내지 5 ns의 레이저 펄스 기간이 사용될 수 있다. 직선 빔(line beam) 강도 균일성은 빔 일관성을 감소시키기 위하여 다모드 섬유에 있는 라만 스캐터링 또는 레이저 펄스로 형성된 빔의 다른 부분네 단계 지연을 다양화하는 것을 적용하여 레이저 펄스를 스펙트럼적으로 넓게하여 개선될 수 있다.</p> |
| 申请公布号 |
KR20150117251(A) |
申请公布日期 |
2015.10.19 |
| 申请号 |
KR20157017295 |
申请日期 |
2013.12.19 |
| 申请人 |
NLIGHT PHOTONICS CORPORATION |
发明人 |
MARTINSEN ROBERT J.;KARLSEN SCOTT R.;GROSS KEN |
| 分类号 |
H01L21/268;B23K26/00;B23K26/062;H01L21/02 |
主分类号 |
H01L21/268 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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