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<p>본 발명은 플라즈마 처리를 통한 나노 결정 다이아몬드(NCD)가 포함된 탄소막의 제조방법에 관한 것으로 이에 따르면, 탄화물 세라믹스를 고온에서 할로겐 가스와 반응시켜 제조된 탄소막(CDC)는 OLC(onion like carbon), 그라파이트, CNT(carbon nano tube)의 나노 결정 구조를 갖는다. 이에 의해 제조된 탄소막(CDC)은 기재와의 밀착력은 높으나, 공극의 발생으로 경도 및 마찰특성이 저하되는 문제가 있으므로 플라즈마 처리하여 상기 탄소막(CDC) 내에 나노 결정 다이아몬드(NCD) 구조가 생성되므로 내마모성, 기재와의 밀착력 및 마찰 특성을 향상시킬 수 있다. 따라서, 본 공정을 통해 제조된 나노 결정 다이아몬드(NCD)가 포함된 탄소막을 고분자 물질의 코팅 혹은 탄소계열 물질의 코팅과 같이 다양한 분야에 적용이 가능하며, 특히, 우수한 기계적 특성이 요구되는 슬라이딩 부품, 피스톤 링 및 압축기의 베인과 같은 기계 부품의 코팅에 적합하다.</p> |
