| 摘要 |
<p>본 발명의 투명 가스 배리어 필름의 제조 방법은, 롤 투 롤 방식을 이용해서 실시된다. 그의 제조 방법은, 플라즈마를 발생시킴으로써 금속 및 반금속 중 적어도 1종을 포함하는 재료를 증착시키는 증착 영역과, 상기 재료를 증착시키지 않는 비증착 영역에 긴 띠 형상의 수지 기판(8)을 교대로 통과시키고, 상기 긴 띠 형상의 수지 기판(8)에 복수의 층을 증착하는 공정을 갖고, 상기 증착 영역에 있어서, 상기 수지 기판(8)과 플라즈마원(52) 사이의 거리를 변화시킴으로써, 두께 방향으로 밀도가 연속적으로 변화하는 층을 복수 갖는 투명 가스 배리어층을 상기 수지 기판(8)에 형성한다.</p> |
