| 发明名称 |
基板处理系统及基板处理方法;SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD |
| 摘要 |
本发明系关于可洗净处理液供给管线的基板处理系统及基板处理方法。;基板处理系统系具备有：处理基板W的基板处理装置(1)、及洗净分配管线(93)及处理液供给管线(92)的冲洗装置。冲洗装置系具备有：洗净液供给管线(99)，其系与分配管线(93)相连接；排液管机构(101)，其系将通过分配管线(93)而被供给至处理液供给管线(92)的洗净液导引至液体废弃处(100)；供给切换阀(104)，其系容许处理液或洗净液的任一者在分配管线(93)内流动；及动作控制部(30)，其系控制排液管机构(101)及供给切换阀(104)的动作。 |
| 申请公布号 |
TW201538278 |
申请公布日期 |
2015.10.16 |
| 申请号 |
TW104106792 |
申请日期 |
2015.03.04 |
| 申请人 |
荏原制作所股份有限公司 EBARA CORPORATION |
发明人 |
山口都章 YAMAGUCHI, KUNIAKI |
| 分类号 |
B24B57/02(2006.01);H01L21/304(2006.01) |
主分类号 |
B24B57/02(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈传岳郭雨岚锺文岳 |
| 主权项 |
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| 地址 |
日本 JP |
