带电粒子束装置、带电粒子束装置之控制方法及剖面加工观察装置

摘要

提供可使用少的位元数之DAC(数位/类比转换器)而提高加工精度的剖面加工观察装置。本发明的剖面加工观察装置(100)，系具备：就带电粒子束产生聚焦部及偏向器作控制，具有将所输入之数位信号转换成输入于偏向器的类比信号的DAC之离子束控制部(11)；及基于切片量之设定值而设定取决于偏向器的扫描之带电粒子束的视野之值的FOV(视野)设定部(14-1)。