基板搬运机器人驱动装置以及利用该装置的基板搬运方法;DRIVING DEVICE FOR TRANSFERRING SUBSTRATE ROBOT AND METHOD FOR TRANSFREEING SUBSTRATE

摘要

本发明涉及基板搬运机器人驱动装置以及利用该装置的基板搬运方法，此种基板搬运机器人驱动装置包括：一搬运驱动部、一升降驱动部、一旋转驱动部、一移动驱动部、一蛇行补偿导出部、以及一控制部，其中，控制部在一第一蛇行方向上将蛇行补偿值分配到升降驱动部、搬运驱动部以及移动驱动部中的至少一个，在一第二蛇行方向上将蛇行补偿值分配到旋转驱动部、搬运驱动部以及移动驱动部中的至少一个。