制造堆叠式有机发光二极体之方法、堆叠式有机发光二极体装置及其制造设备;METHOD OF MANUFACTURING A STACKED ORGANIC LIGHT EMITTING DIODE, STACKED OLED DEVICE, AND APPARATUS FOR MANUFACTURING THEREOF

摘要

本发明系针对于一种制造堆叠式有机发光二极体(OLED)装置之方法。该方法包含以下数个步骤：提供一载体；及形成一第一有机发光二极体于该载体上，其系藉由基于溶液来沉积该第一有机发光二极体之数个连续二极体层。该方法更包含：形成一或多个电荷注入层于该第一有机发光二极体上；以及形成一第二有机发光二极体于该载体上，其系藉由基于溶液来沉积该第二有机发光二极体之数个连续二极体层。该形成一或多个电荷注入层之步骤包含一执行原子层沉积之步骤，其用以沉积该一或多个电荷注入层之至少一者。本发明更关于一种用于制造堆叠式OLED之设备及一种堆叠式OLED装置。