沟槽隔离结构的制造方法;METHOD FOR FORMING TRENCH ISOLATION STRUCTURE

摘要

本发明提供一种沟槽的填充方法。在一基板上形成一罩幕图案层，其内具有一开口。蚀刻基板以在开口下方的基板中形成一沟槽。对罩幕图案层实施一第一后撤制程，以扩大开口之口径。以一第一介电材料部分填充沟槽，其中沟槽中的第一介电材料之上具有一凹口。对罩幕图案层实施一第二后撤制程，以再次扩大开口之口径。对第一介电材料实施一回蚀刻制程，以扩大凹口之口径及深度。以及在凹口中填入一第二介电材料，以完全填满沟槽。