热交换系统及具有该热交换系统的基板处理装置

摘要

提供可将处理基板的处理流体效率佳地加热或冷却的热交换系统。在本发明中，系在具有热交换系统(62)的基板处理装置(1)中，热交换系统(62)系具有：热交换器(69a、69b)，其系将通过内部的流体加热或冷却；流体供给部(81)，其系将要加热或冷却的流体供给至热交换器(69a、69b)的下部；及流体排出部(82)，其系将经加热或冷却的流体由热交换器(69a、69b)的上部排出，流体供给部(81)系具有：流入管(85、86)，其系供处理流体流入；第1歧管(87)，其系位于比热交换器(69a、69b)的上端部更为上方，且连接有流入管(85、86)；排气管(88)，其系与第1歧管(87)相连接，且排出混入至处理流体的气体；及供给管(89)，其系由第1歧管(87)对热交换器供给处理流体，将由下方朝向上方通过热交换器(69a、69b)的内部的流体加热或冷却。