基板处理装置

摘要

基板处理装置具有对处理容器内进行排气之排气机构，该处理容器具有：本体部，上面开口且有底；圆筒形状之圆筒部，具备有将本体部上面予以气密阻塞之凸缘以及直径小于本体部且直径大于载置台外侧面的侧壁；以及盖体，设置于凸缘上面，将本体部之开口予以气密阻塞；于凸缘上面形成有往下方凹陷之沟槽部；于该沟槽部配置着加热器；圆筒部之侧壁相对于载置台上面往下方延伸形成，且于侧壁之下端设置有往侧壁中心方向突出之卡固构件；于卡固构件上面配置有形成了复数开口之挡板。