| 摘要 |
<p>본 발명은, 양면연마장치의 연마포가 첩부된 상하정반 사이에 배설되는 캐리어 본체에 형성되고, 연마시에 웨이퍼를 유지하기 위한 유지구멍에, 유지하는 웨이퍼의 주연부와 접하는 인서트재를 감합하고 접착하여 제조하는 양면연마장치용 캐리어의 제조방법에 있어서, 상기 인서트재에 랩가공 및 연마가공을 실시하고, 그 후, 이 인서트재를 캐리어 본체의 유지구멍에 감합하고, 캐리어 본체의 주면에 수직인 방향을 따라, 감합한 인서트재에 하중을 가하면서 접착 및 건조를 행함으로써 양면연마장치용 캐리어를 제조하는 양면연마장치용 캐리어의 제조방법을 제공한다. 이에 따라, 배치 내에서의 연마 웨이퍼의 편평도의 불균일을 억제할 수 있는 양면연마장치용 캐리어를 제조하는 방법 및 웨이퍼의 양면연마방법이 제공된다.</p> |
