真空设备多载具同时多工处理制程

摘要

本发明提供一种真空设备多载具同时多工处理制程，其制备一具有表面处理腔的连续式真空制程设备，并以至少两素材依序进入表面处理腔内，较早进入该表面处理腔的素材恒比较晚进入该表面处理腔的素材更靠近该后段制程腔，且各素材同时间在该表面处理腔内进行来回且个别的移动，最后各素材再依序离开连续式真空制程设备，便可在素材上得到任意组合之薄膜结构，藉此本发明提供一种产能快、低成本的真空设备多载具同时多工处理制程。