检查用晶圆及试验系统

摘要

本发明的问题在于要在检查被试验元件之检查装置中，检查探针卡。;为了解决此问题，本发明提供一种试验系统，用以试验被试验元件，该试验系统具备：试验部，其具有复数个试验测针，以输入或输出信号；探针卡，其具有与被试验元件的端子连接之复数个探针端子，以在被试验元件和试验部之间传送信号；及，检查用晶圆，其在检查探针卡时，取代被试验元件而被连接到探针卡，且具有将2个探针端子电性连接之连接配线；其中，试验部，测定被连接在2个探针端子上的2个试验测针中的至少一方的输出，以判定2个探针端子的良劣。