电镀铜液分析装置及电镀铜液分析方法

摘要

电镀铜液分析装置具备：分析用容器，系收容包含含有促进剂、抑制剂、及调平剂的添加剂的电镀铜液之一部分作为分析用样品；工作电极，系浸渍在分析用容器所收容的电镀铜液，进行电子的授受；参考电极，系浸渍在电镀铜液，用作为决定工作电极的电位之际的基准；相对电极，系浸渍在电镀铜液；旋转驱动部，系以一定的速度使工作电极旋转；电流产生部，系在工作电极与相对电极之间流入电流密度一定的电流；电位测定部，系测定工作电极与参考电极之间的电位；和解析部，系解析流入电流后的经过时间与电位的关系。