焦点位置调整方法及检查方法

摘要

提供可以防止由于绕射光导致焦点位置调整精度下降之情形的焦点位置调整方法。再者，提供防止由于绕射光导致焦点位置调整精度下降，依此可以进行正确检查的检查方法。;对试料(9)照明来自光源(1)之光，并以感测器(26)观察照明光学系统(a)之光瞳的光强度分布。由于焦点位置之变化所导致的绕射光之影响不会成为问题之时，使用光检测焦点位置。另外，于以感测器(26)观察照明光学系统(a)之光瞳之光强度分布之结果，于射入至感测器(27、28、29、30)之绕射光之光量由于焦点位置而产生变化之时，使用来自光源(2)之光而检测出焦点位置。之后，以检测出之焦点位置位于试料(9)之图案面之方式，调整平台(31)之Z方向之位置。