光子发射的光谱套图;Spectral Mapping of Photo Emission

摘要

本发明揭示一种装置与方法，用以光学探测一DUT。该系统可用以判断、定位及归类在该DUT内的故障装置。于该DUT接收测试信号时，使该DUT的一选定区域成像，该测试信号可为静态或动态，于动态时可使其主动装置中有部分发生调变。收集从该DUT发出的光，将光传送经过一透射的绕射光栅，再以一感测器成像，并将影像转变成一电信号。所得的影像包括该光栅的零阶与一阶绕射。该光栅建置成使其零阶对准到在该光栅位在该光学路径以外时，所取像到的发射点。