发明名称 |
记忆胞单元及其制造方法;MEMORY CELL AND MANUFACTURING METHOD THEREOF |
摘要 |
一种记忆胞单元,其包括基底、两个第一导电型掺杂区、一第二导电型掺杂区、两个堆叠结构以及第一隔离结构。所述第一导电型掺杂区分别配置于所述基底中。所述第二导电型掺杂区配置于所述两个第一导电型掺杂区之间的所述基底中。所述堆叠结构配置于所述基底上,分别覆盖所对应的第一导电型掺杂区以及部分的所述第二导电型掺杂区。所述堆叠结构的每一者包括电荷储存层。所述第一隔离结构完全覆盖并接触所述第一导电型掺杂区的底面以及所述第二导电型掺杂区的底面。 |
申请公布号 |
TW201539669 |
申请公布日期 |
2015.10.16 |
申请号 |
TW103112438 |
申请日期 |
2014.04.03 |
申请人 |
旺宏电子股份有限公司 MACRONIX INTERNATIONAL CO., LTD. |
发明人 |
郑致杰 CHENG, CHIH CHIEH;颜士贵 YAN, SHIH GUEI;蔡文哲 TSAI, WEN JER |
分类号 |
H01L21/8239(2006.01);H01L21/3215(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/8239(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
詹铭文叶璟宗 |
主权项 |
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地址 |
新竹市新竹科学工业园区力行路16号 TW |