温度调整装置;TEMPERATURE ADJUSTMENT DEVICE

摘要

一种温度调整装置，包括保持盘、基盘、黏着层、调整杆。保持盘包括放置表面，放置表面上放置有经过处理之基板，保持盘并包括加热元件，加热元件可加热放置于放置表面上之经过处理之基板；基盘支撑保持盘，其中基盘包括多个第一贯孔，多个第一贯孔于厚度方向上延伸贯穿该基盘；黏着层黏着基盘与保持盘，其中黏着层包括第二贯孔，第二贯孔分别与多个第一贯孔相通；调整杆分别插入多个第一贯孔，其中每个调整杆包括远端，远端位于多个第二贯孔中与其对应的一个。