| 发明名称 |
显示阵列基板及显示阵列基板的制造方法;DISPLAY ARRAY SUBSTRATE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF |
| 摘要 |
本发明提供一种显示阵列基板的制造方法，该制造方法包括：于一基板上沉积第一金属层，并定义画素区域与周边区域；在周边区域的第一金属层上涂布图案化光阻层；利用图案化光阻层为遮罩阳极化处理该第一金属层形成第一金属氧化物层；图案化该画素区域的第一金属氧化物层形成闸极绝缘层，并移除图案化光阻层曝露出该第一金属层；于闸极绝缘层上形成沟道层；及沉积第二金属层，并图案化画素区域的第二金属层形成源极与汲极。 |
| 申请公布号 |
TW201539726 |
申请公布日期 |
2015.10.16 |
| 申请号 |
TW103112204 |
申请日期 |
2014.04.01 |
| 申请人 |
业鑫科技顾问股份有限公司 YE XIN TECHNOLOGY CONSULTING CO., LTD. |
发明人 |
施博理 SHIH, PO LI;高逸群 KAO, YI CHUN |
| 分类号 |
H01L27/12(2006.01);H01L21/77(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/12(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
新竹县竹北市台元一街1号7楼之1 TW |
