摘要 |
一种中介体的制造方法,包含以下步骤:(A)制备一主要材质为陶瓷的基板,并制作多个贯穿基板且两端突出于基板之第一表面与第二表面的基板内连线;(B)对基板的第一表面及第二表面进行研磨,使基板内连线的两端分别与基板的第一表面、第二表面大致齐平;(C)于基板的第一表面制作多个分别连接于基板内连线的第一衬垫,并于基板的第二表面制作多个分别连接于基板内连线的导电层;(D)于基板的第二表面设置至少一层覆盖导电层的介电层,并制作多个连接导电层且贯穿介电层的重布线路结构;及(E)于介电层远离基板的表面制作连接于重布线路结构的第二衬垫。 |