用于化学气相沉积系统之具有复合半径容置腔的晶圆载具;WAFER CARRIER HAVING RETENTION POCKETS WITH COMPOUND RADII FOR CHEMICAL VAPOR DEPOSITION SYSTEMS

摘要

一种用于化学气相沉积(CVD)系统之晶圆载具，包括复数个晶圆容置腔，每一个晶圆容置腔具有周壁面，周壁面环绕底表面并且界定晶圆容置腔之周边。每一个晶圆容置腔具有周边，该周边之形状为由至少一具有围绕第一弧中心的第一曲率半径之第一弧、及围绕第二弧中心的第二曲率半径之第二弧所界定。该第二弧不同于该第一弧的曲率半径及/或弧中心。