| 发明名称 |
操作装置及其操作方法;HANDLING DEVICE AND HANDLING METHOD THEREOF |
| 摘要 |
一种操作装置，用以操作基板。操作装置包含载盘、移动件、至少一第一黏着块以及至少一第二黏着块。移动件邻近载盘，用以沿第一轴向相对于载盘移动。第一黏着块位于载盘的第一面。第二黏着块位于移动件的第一面，其中第一黏着块及第二黏着块，用以分别在不同的时间脱离黏着基板。此外，本发明还揭露此操作装置的操作方法的实施例。 |
| 申请公布号 |
TW201538774 |
申请公布日期 |
2015.10.16 |
| 申请号 |
TW103113746 |
申请日期 |
2014.04.15 |
| 申请人 |
友达光电股份有限公司 AU OPTRONICS CORP. |
发明人 |
谢维容 HSIEH, WEI JUNG |
| 分类号 |
C23C14/56(2006.01);C23C14/12(2006.01);H01L51/56(2006.01) |
主分类号 |
C23C14/56(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
郭晓文 |
| 主权项 |
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| 地址 |
新竹市新竹科学工业园区力行二路1号 TW |
