| 发明名称 |
硏磨垫及其制造方法 |
| 摘要 |
本发明之目的在于提供一种研磨速度快且平面化特性优良之研磨垫及其制造方法。该研磨垫具有由聚胺酯树脂发泡体构成之研磨层，其特征在于前述聚胺酯树脂发泡体之形成材料的聚胺酯树脂，于侧链具有下述通式(1)所示之烷氧基矽基。;(式中，X为OR 1 或OH，R 1 各自独立为碳数1~4的烷基。) |
| 申请公布号 |
TW201538699 |
申请公布日期 |
2015.10.16 |
| 申请号 |
TW104102699 |
申请日期 |
2015.01.27 |
| 申请人 |
东洋橡胶工业股份有限公司 TOYO TIRE & RUBBER CO., LTD. |
发明人 |
清水绅司 SHIMIZU, SHINJI |
| 分类号 |
C09K3/14(2006.01);C08L75/04(2006.01);C08G18/10(2006.01);B24D3/32(2006.01);C08J5/14(2006.01);C08J9/00(2006.01);B24B29/02(2006.01);B24B37/24(2012.01);H01L21/304(2006.01);H01L21/3105(2006.01);H01L21/321(2006.01) |
主分类号 |
C09K3/14(2006.01) |
| 代理机构 |
|
代理人 |
恽轶群陈文郎 |
| 主权项 |
|
| 地址 |
日本 JP |
