聚焦环;FOCUS RING

摘要

本发明提供一种聚焦环，其不使用黏着剂，当在电浆处理装置内被加以使用之时，可抑制异常放电，而获得在圆周方向上之均匀的电浆环境。;本发明之聚焦环系不使用黏着剂，而藉由复数个连结构件20将复数个圆弧状构件10加以连结，构成为圆环状之矽制的聚焦环1，从上述连结构件20上表面至上述凹状嵌合部23之底面23a为止之厚度尺寸d2，系较从上述圆弧状构件10上表面至第二凹部底面13a为止之厚度尺寸d1而以较大之尺寸加以形成。