无瑕疵定向自组装;DEFECT-LESS DIRECT SELF-ASSEMBLY

摘要

在此之技术实现执行嵌段共聚物图案化制程之定向自组装以具有高产率的功能性图案及元件，该定向自组装造成不具瑕疵或具有低到可忽略之瑕疵发生情事的图案。方法包含执行相同的DSA图案化次序二或更多次，使得任何来自相分离之第一嵌段共聚物膜的瑕疵系被相分离之第二嵌段共聚物膜修正，因为该第二嵌段共聚物膜中的任何瑕疵仅会暂时覆盖已从该第一嵌段共聚物膜产生及/或转移自该第一嵌段共聚物膜的特征部。