基板检查装置

摘要

提供一种基板检查装置，该基板检查装置，系不用使用IC测试器，进行探针及半导体元件之接触确认，在接触确认中确认为异常状态时，可判别异常状态的原因。探测器(10)，系具备有探针卡(15)，该探针卡(15)，系具有接触于形成在晶圆(W)之半导体元件(28)之各电极焊垫(37)的复数个探针(16)，该探针卡(15)，系具有：卡侧检测电路(18)，重现安装有从晶圆(W)切出之半导体元件(28)之DRAM的电路构成；及比较器(34)，测定探针(16)及卡侧检测电路(18)之间之配线(19)的电位。