发明名称 感测元件及其制作方法;SENSING DEVICE AND METHOD OF FACRICATING THE SAME
摘要 本发明系提供一种感测元件,至少包含一基板、一金材料层与一钻石奈米线层。其中金材料层系设置于基板上,而钻石奈米线层设置于金材料层上。关于上述感测元件的制作方法亦揭露于本发明中。
申请公布号 TW201538971 申请公布日期 2015.10.16
申请号 TW103113369 申请日期 2014.04.11
申请人 国立清华大学 NATIONAL TSING HUA UNIVERSITY 发明人 夏 琳 JAYAKUMAR, SHALINI;李紫原 LEE, CHI YOUNG;林谕男 LIN, I NAN
分类号 G01N27/30(2006.01) 主分类号 G01N27/30(2006.01)
代理机构 代理人 王正利
主权项
地址 新竹市光复路2段101号 TW