化学液供给装置及其供给方法

摘要

本发明属于半导体行业晶片湿法处理领域，具体地说是一种化学液供给装置及其供给方法，第一、二供液桶分别连通由电磁阀控制开关的供气源，原料桶与第一供液桶相连通，并在管路上设有药液阀；第一供液桶输出的化学液一路连通由药液阀控制开关的浸泡单元，另一路连通向工艺处理腔体内晶圆喷洒化学液的扇状喷嘴，另一路的管路上设有高压泵，并在管路上安装有药液阀；工艺处理腔体与回收桶连通，工艺处理腔体中的化学液通过回收桶回收，并通过化学液泵泵入第二供液桶内；第二供液桶通过管路与高压泵的输入端相连通，并在管路上安装控制管路开关的药液阀。本发明实现了化学液的无间断供应，无需人工干预；供给装置结构简单紧凑，占地面积小。