发明名称 阳极固持器及镀覆装置
摘要 本发明提供一种防止配置有阳极之内部空间与外部空间之间的添加剂及黑膜(Black film)扩散之阳极固持器及具备其之镀覆装置。本发明之阳极固持器60具有:用于收容阳极之内部空间61;以覆盖内部空间61前面之方式而构成的隔膜;形成于阳极固持器之外表面,并连通于内部空间61之孔71;及用于密封孔71之阀门91。
申请公布号 TW201538803 申请公布日期 2015.10.16
申请号 TW104104018 申请日期 2015.02.06
申请人 荏原制作所股份有限公司 EBARA CORPORATION 发明人 矢作光敏 YAHAGI, MITSUTOSHI;木村诚章 KIMURA, MASAAKI;辻野润一郎 TSUJINO, JUNICHIRO
分类号 C25D17/00(2006.01);C25D17/12(2006.01);C25D7/12(2006.01) 主分类号 C25D17/00(2006.01)
代理机构 代理人 陈传岳郭雨岚锺文岳
主权项
地址 日本 JP
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