发明名称 |
使用氧化钛先质组合物之图案;USE OF TITANIA PRECURSOR COMPOSITION PATTERN |
摘要 |
本发明关于导电金属图案,其可使用自基板上之氧化钛先质组合物获得之氧化钛溶胶-凝胶形成,该氧化钛先质组合物具有:(a)烷氧化钛或芳基氧化钛,(b)R(O)mCOCH2CO(O)nR’化合物,其中R及R’独立地系烷基且m及n独立地系0或1,(c)水,(d)pKa小于1之酸或卤素来源,及(e)水可混溶有机溶剂,其中(a)至(d)之莫耳量足以在该基板上乾燥时形成氧化钛溶胶-凝胶之图案。使此图案与无电晶种金属离子接触以形成沈积在该基板上之该氧化钛溶胶-凝胶图案内之无电晶种金属离子图案,将该等无电晶种金属离子暴露于电磁辐射下以还原该无电晶种金属。然后使物件经受无电金属电镀。 A conductive metal pattern can be formed using a titania sol-gel obtained from a titania precursor composition having (a) a titanium alkoxide or titanium aryloxide, (b) a R(O)mCOCH2CO(O)nR’ compound wherein R and R’ |
申请公布号 |
TW201538785 |
申请公布日期 |
2015.10.16 |
申请号 |
TW104100986 |
申请日期 |
2015.01.12 |
申请人 |
柯达公司 EASTMAN KODAK COMPANY |
发明人 |
崔亚 玛莉亚 赛勒斯特 罗拉玛斯 TRIA, MARIA CELESTE RELLAMAS |
分类号 |
C23C18/16(2006.01);C23C18/30(2006.01);B05D3/06(2006.01);H01B13/00(2006.01);B05D7/24(2006.01);B05D5/12(2006.01);H01B5/14(2006.01);H01L21/283(2006.01);H01L23/552(2006.01);H05K9/00(2006.01);G06F3/044(2006.01) |
主分类号 |
C23C18/16(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
陈长文 |
主权项 |
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地址 |
美国 US |