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<p>티타늄-도핑된 합성 석영 유리의 공지의 생산방법은: (A) 60 중량%를 초과하는 폴리알킬실록산 D4를 포함하는 액체 SiO공급원료 물질 (105)을 제공하는 단계; (B) 상기 액체 SiO공급원료 물질 (105)을 증발시켜 기체 SiO공급원료 증기 (107)를 생산하는 증발 단계; (C) 액체 TiO공급원료 물질 (205)을 증발시켜 기체 TiO공급원료 증기 (207)를 생산하는 증발 단계; (D) 상기 SiO공급원료 증기 (107) 및 상기 TiO공급원료 증기를 SiO입자 및 TiO입자로, 각각 전환시키는 단계; (E) 상기 SiO입자 및 상기 TiO입자를 티타늄-도핑된 SiO수트체 (200)를 형성하면서 증착 표면 (160) 상에 증착시키는 단계; (F) 상기 티타늄-도핑된 SiO수트체를 유리화하여 합성 석영 유리를 형성하고, 이에 의해 상기 합성 석영 유리의 TiO농도가 5 중량% 및 11 중량% 사이인, 유리화 단계를 포함한다. 본 발명의 범주에 따르면, 상기 액체 SiO공급원료 물질 (105)은 mD3의 무게 분획을 갖는 폴리알킬실록산 D3으로 구성된 적어도 하나의 부가적인 성분 및 mD5의 무게 분획을 갖는 폴리알킬실록산 D5로 구성된 하나의 부가적인 성분을 포함하고, mD3/mD5의 중량비가 0.01 내지 1의 범위이며, 및 제공된 액체 SiO공급원료 물질 (105)은 증발되면서 mD3/mD5의 중량비를 유지하고, 이의 적어도 99 중량%는 증발되어 기체 SiO공급원료 증기 (107)를 형성한다.</p> |
